天然气行业术语。半导体工业中使用的气体统称为电子气体。它可以分为三类：纯气体、纯气体和半导体特殊材料气体。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺；高纯度气体主要用作稀释气体和载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。根据纯度和用途，电子气体可分为电子级、LSI（大规模集成电路）级、VLSI（超大规模集成电路）和ULSI（超大规模电路）级。

优质电子气体是集成电路、光电子、微电子技术发展不可或缺的基础材料，特别是在VLSI、LCD器件、半导体灯和半导体材料的制造过程中。它被称为电子行业的“血液”和“谷物”。其纯度和清洁度直接影响光电子和微电子元件的质量、集成度、特定技术指标和产量，并从根本上限制了电路和器件的准确性和准确性。

近年来，随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的快速发展，电子气体市场需求大幅增加，特种电子气体国产化已成为大势所趋。很明显，中国在国产化方面取得了可喜的进展：国产高纯度氨改变了外国天然气公司的市场垄断格局，高纯度四氟化氢“有价值但不可用”的时代已经结束，高纯度氯化氢成功打开了国内市场。