氦质谱检漏法利用氦质谱检漏仪的氦分压测量原理，测量被试件的氦泄漏量。如果被测零件的密封表面有泄漏，则表明泄漏的氦气和其他气体已从泄漏处排出。泄漏气体进入氦质谱仪泄漏检测器后，由于其选择性检测能力，仅显示气体中的氦分压信号值。在获得氦气信号值的基础上，可以通过比较标准泄漏孔来获得氦气从泄漏孔的泄漏量。根据泄漏检测过程中显示的泄漏气体位置与被测对象之间的不同关系，氦质谱泄漏检测方法可分为真空法、超压法、真空压力法和背压法。综述了这四种氦质谱检漏方法的检测原理。优点和缺点以及测试标准。

1.真空质谱法的泄漏检测。

如果使用真空法检测泄漏，则应使用辅助真空泵或泄漏检测器对测试产品的内部密封室进行真空处理，并通过氦帽或喷雾法将氦气施加到测试产品的外表面。如果被测产品表面有泄漏孔，氦气通过泄漏孔进入被测产品，然后进入氦气质谱仪检漏仪，实现对被测产品的泄漏测量。根据泄漏方法的不同，真空过程可分为真空注入法和真空氦帽法。

真空喷涂法：用喷枪将氦气喷涂在被测产品的外表面，可以实现对泄漏的精确定位；

真空氦盖法：用具有特定密封功能的氦盖盖住所有被测产品，使其充满一定的氦浓度，并测量被测产品的总泄漏率。

真空法的优点和缺点。

真空法的优点是检测灵敏度高，定位准确，能够检测大型容器或复杂结构产品中的泄漏。

真空工艺的缺点是只能在匹配压差较大的情况下实现泄漏率检测，不能准确反映产品的真实泄漏状态。

真空法主要用于有真空密封性能要求但无压力的产品，如空间移动部件、液氢罐、环境模拟设备等。

2.超压氦质谱泄漏检测。

当使用超压方法检测泄漏时，测试产品的内部密封室应充满高于空气压力的氦气。如果测试产品的表面有泄漏，氦气通过泄漏进入测试产品表面周围的大气环境，然后使用吸枪检测测试产品周围大气环境中氦气浓度的增加，从而实现测试产品的泄漏测量。根据收集氦气的方法不同，超压法可分为超压吸枪法和超压积聚法。正压吸枪法：用检漏吸枪对被测产品外表面进行扫描检测，实现对泄漏的准确定位；

超压累积法：使用具有特定密封功能的氦气盖覆盖所有检测产品，并使用检漏仪测量氦气盖内氦气浓度在一定时间前后的变化，实现对检测产品总泄漏率的精确测量。

超压工艺的优点和缺点。

超压方法的优点是真空系统不需要任何支撑，并且可以精确定位以在任何工作压力下实现检测。

超压方法的缺点是检测灵敏度低、检测结果不确定以及测量环境的显著影响。

超压法主要用于高压氦气瓶、舱口检漏仪等大容量高压密闭容器产品的泄漏检测。

3.氦质谱检漏真空压力法。

当使用真空压力法进行泄漏检测时，有必要将整个测试产品放置在真空密封室中。真空密封室连接到辅助排气系统和泄漏检测器。被测产品的充气接口通过连接管引出真空密封室，然后连接到氦源。如果被测产品表面有泄漏，氦气通过泄漏进入真空密封室，然后进入氦气质谱仪检漏仪，测量被测产品的总泄漏率。