六氟化硫在电弧作用下主要sf6分解产物有：

（1）四氟化硫（SF4），在常温下为无色气体，有类似SO2的刺激味道。在空气中能与水蒸气形成烟雾。SF4与水猛烈反应生成SOF2和HF，与碱液反应生成氟化物和亚硫酸盐，遇浓硫酸会发生分解并放热。SF4易溶于苯，可用碱液或活性氧化铝吸收。SF4对肺有侵害作用，影响呼吸系统，其毒性与光气并列。SF6气体泄露检测系统原联邦德国和美国规定空气中允许浓度为0.1×106。

（2）氟化硫（S2F2），在常温下为无色、有类似SCl2味道的气体；遇水蒸气能在30～40s内完全水解形成S、SO2和HF；90℃开始分解，200～250℃反应加快；常温下不与Fe、A1、Si、Zn反应，与水和碱激烈反应，与氨作用生成NH4F。S2F2易被活性氧化铝吸收。S2F2为有毒的刺激性气体，对呼吸系统有类似光气的破坏作用。

（3）二氟化硫（SF2），极不稳定，受热后更加活泼，易水解生成S、SO2、HF。可用碱液或活性氧化铝吸收。毒性与HF近似，美国毒性基准规定为5×106。

（4）十氟化二硫（S2F10），为五氟化硫的二聚物，在常温常压下为易挥发性液体，无色、无臭、无味，化学性质上极稳定；在水和浓碱液中分解极慢，且不溶于其中；在200～300℃时即完全分解生成SF4和SF6。S2F10是一种剧毒物质，其毒性超过光气，主要破坏呼吸系统，空气中含1×106能使白鼠8h死亡。美国和联邦德国曾规定S2F10在空气中之允许浓度为0.025×106。（5）氟化亚硫酰（SOF2），为无色气体，有窒息性味道。化学性质很稳定，在红热温度下仍不活泼，例如在125℃时不与Fe、Ni、CO、Hg、Si、Ba、Mg，Al、Zn以及氯、溴、一氧化氮等物质反应。SOF2可发生水解反应，并能在碱的酒精溶液中分解。它与水的反应在0℃时进行缓慢，然而它与溶于HF中的水可瞬时反应。SOF2为剧毒气体，可造成严重肺水肿，刺激黏膜，当空气中含有1×106～5×106时即可觉察出刺激味道，并会引起呕吐。

（6）氟化硫酰（SO2F2），无色无臭气体，化学上极稳定，加热至150℃亦不与水和金属反应。SO2F2：被KOH、NH4OH缓慢吸收，但不易被活性氧化铝吸收。苏打石灰（CaO+NaOH）可吸收SO2F2。SO2F2是一种导致痉挛的有毒气体，可引起全身痉挛并麻痹呼吸器官、肌肉、使其失去正常功能而造成窒息。它与SOF2不同，它的危险性尤其在于无刺激味道，且不引起眼、鼻、黏膜的刺激作用，故初始不易察觉，往往发现中毒之后会迅速造成死亡。我国规定空气中最高允许浓度为5×106。

（7）四氟化硫酰（SOF4），与水反应生成SO2F2并放出大量热；能被碱液吸收；对肺部有侵害作用。

（8）氟化氢（HF），对皮肤、黏膜有强刺激作用并可引起肺水肿、肺炎等；对设备材质有腐蚀作用。

（9）二氧化硫（SO2），强刺激性气体，损害黏膜及呼吸系统，还可引起胃肠障碍，疲劳等症状。

（10）二硫化碳（CS2），无色或淡黄色透明液体，有强刺激性气味，易挥发，损害黏膜、神经和血管