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四氟化碳是什么?有什么用?

四氟化碳是什么?有什么用?

  • 分类:产品知识
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  • 发布时间:2023-07-10 10:46
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【概要描述】四氟化碳又称四氟甲烷,被视为一种无机化合物。用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体及制冷剂。常温常压下比较稳定,但是需要避免接触强氧化剂、易燃或可燃物。四氟化碳是不燃气体,如果遇到高热后会造成容器内压增大,有开裂、爆炸危险。通常常温下只会与液氨-金属钠试剂能发生作用。

四氟化碳是什么?有什么用?

【概要描述】四氟化碳又称四氟甲烷,被视为一种无机化合物。用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体及制冷剂。常温常压下比较稳定,但是需要避免接触强氧化剂、易燃或可燃物。四氟化碳是不燃气体,如果遇到高热后会造成容器内压增大,有开裂、爆炸危险。通常常温下只会与液氨-金属钠试剂能发生作用。

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四氟化碳是什么?有什么用?
 

四氟化碳


 
四氟化碳又称四氟甲烷,被视为一种无机化合物。用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体及制冷剂。常温常压下比较稳定,但是需要避免接触强氧化剂、易燃或可燃物。四氟化碳是不燃气体,如果遇到高热后会造成容器内压增大,有开裂、爆炸危险。通常常温下只会与液氨-金属钠试剂能发生作用。


四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,可广泛用于硅、二氧化硅,磷硅玻璃等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄露检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面都有着大量的应用。

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