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如何做好超高纯氮气的存储

如何做好超高纯氮气的存储

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  • 发布时间:2023-07-25 11:09
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【概要描述】对于超纯气体,任何微小的污染都会严重影响气体的质量,因此气体贮存和运输过程中的洁净和高度密封性特别重要。超纯气体主要采用高压钢瓶或低温液化气体容器贮存和运输。     高压钢瓶坚实耐用,运输和使用灵活,气体无损耗,但气体纯度稳定性较差;低温液化气体容器单位容积贮量很大,但有气体排放损耗。 

如何做好超高纯氮气的存储

【概要描述】对于超纯气体,任何微小的污染都会严重影响气体的质量,因此气体贮存和运输过程中的洁净和高度密封性特别重要。超纯气体主要采用高压钢瓶或低温液化气体容器贮存和运输。


    高压钢瓶坚实耐用,运输和使用灵活,气体无损耗,但气体纯度稳定性较差;低温液化气体容器单位容积贮量很大,但有气体排放损耗。 

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如何做好超高纯氮气的存储
 

氮气

 

    超高纯氮气等超高纯气体一般用在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。


    超高纯氮气在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中,液氢加注系统必须先用超高纯氮气置换,再用超高纯氮气置换。


  对于超纯气体,任何微小的污染都会严重影响气体的质量,因此气体贮存和运输过程中的洁净和高度密封性特别重要。超纯气体主要采用高压钢瓶或低温液化气体容器贮存和运输。


    高压钢瓶坚实耐用,运输和使用灵活,气体无损耗,但气体纯度稳定性较差;低温液化气体容器单位容积贮量很大,但有气体排放损耗。 

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