高纯气体在充装前要根据说明进行正确操作

高纯气体在充装前需要做的准备工作主要就是这些，大家要根据说明进行正确操作，从而使其性能得到充分的展示。高纯气体在充装前需要做好准备工作，只有这样才能顺利完成高纯气体的充装，纽瑞德气体为大家详细说明下：

1、高纯气体充装的准备：

①气瓶上架。

②微开阀门通入0.2MPa压力

③检查充装软管与气瓶连接是否泄漏。

④关闭阀门，开启充装排放空阀，泄压至0.

⑤目测压力表是否为0。

⑥(确认充装软管与气瓶连接无泄漏时可，压力为0时，可直接抽空)。

2、高纯气体充装的抽空操作：

①开启真空泵，同时抽空汇流排，负压值≥0.1MPa，继续抽真空15~30min，关闭抽空管道截止阀后，停止真空泵;

②缓慢开启抽空总阀(防止泵油外溢)。

③真空表指示值<-0.1MPa

④抽空5~15分钟后。

⑤关闭抽空总阀。

⑥开启通气阀(防止抽空管路过油)。

⑦关闭真空泵，抽空结束。

3、高纯气体充装的管道保压操作:

①充装结束后，关闭充装排总阀。

②30分钟后高纯，高纯气体充装要多久目测压力表压降低于10~15%。