纽瑞德

NEWS CENTER

新闻中心

资讯分类
/
/
含氟电子特气在半导体电子行业的应用

含氟电子特气在半导体电子行业的应用

  • 分类:新闻中心
  • 作者:
  • 来源:
  • 发布时间:2023-08-26 11:02
  • 访问量:

【概要描述】传统含氟清洗气体如PFCs(包括CF4、C2F6、C3F8、c-C4F8等)、SF6、NF3的GWP值很高,而且后处理系统复杂且价格昂贵。与传统含氟清洗气体相比,CF2O、F2这两种清洗剂的清洗效率非常高,

含氟电子特气在半导体电子行业的应用

【概要描述】传统含氟清洗气体如PFCs(包括CF4、C2F6、C3F8、c-C4F8等)、SF6、NF3的GWP值很高,而且后处理系统复杂且价格昂贵。与传统含氟清洗气体相比,CF2O、F2这两种清洗剂的清洗效率非常高,

  • 分类:新闻中心
  • 作者:
  • 来源:
  • 发布时间:2023-08-26 11:02
  • 访问量:
详情

含氟电子特气在半导体电子行业的应用

半导体清洗工艺主要是去除硅片上的粒子和金属污染物、有机物、在蚀刻、布线工序中抗蚀剂去胶、去除化合物,以及CMP(化学机械抛光)后的清洗。

半导体IC制程主要以离子注入、扩散、外延生长及光刻四项基础工艺为基础逐渐发展起来。由于集成电路内各元件及连线相当微细,因此制造过程中,如果遭到尘粒、金属的污染,很容易造成晶片内电路功能的损坏,形成短路或断路等,导致集成电路的失效以及影响几何特征的形成。因此在制作过程中除了要排除外界污染源外,集成电路制作步骤如高温扩散、离子注入前等均需要进行清洗工作。

▲半导体电子特气供气系统

含氟清洗剂在半导体和电子工业清洗尤其是干法清洗中表现出了非常好的性能。含氟清洗剂沸点较低,常温下以气相存在,因此非常容易进行干法气相清洗。

含氟清洗剂主要包括CF4、C2F6、C3F8、c-C4F8、SF6、NF3、CF2O、F2等,

传统含氟清洗气体主要包括四氟化碳(CF4)、六氟乙烷(C2F6)、八氟丙烷(C3F8)、八氟环丁烷(c-C4F8)、六氟化硫(SF6)、三氟化氮(NF3)等品种,在半导体清洗中,主要以原位C2F6与CF4等全氟氮化合物(PFC)清洗为主。

随着环境要求的不断提高,半导体工业中的PFCs排放越来越受到全球的重视。化学气相沉积(CVD)腔体清洗所用的氟碳化合物则是半导体工业中最大的PFCs排放源。寻找替代清洗剂被认为是最有效的PFCs排放减量/消除方法之一。

利用远程NF3清洗代替原有的原位氟碳化合物(如C2F6、CF4)清洗。远程NF3清洗是指先将NF3等离子化,解离成F离子或原子,然后再让F离子或原子进入CVD腔体清洗残留物。远程NF3清洗可高达95%-99%的利用率,可以减少>95%的PFCs排放量。

但该远程NF3清洗过程将会产生更多的副产物F2、HF与NOx,无疑会增加后续废水/废气处理的负荷与难度,后处理系统价格昂贵。而且NF3具有爆炸性。

传统含氟清洗气体如PFCs(包括CF4、C2F6、C3F8、c-C4F8等)、SF6、NF3的GWP值很高,而且后处理系统复杂且价格昂贵。

新一代含氟清洗气体主要往GWP值低甚至为零、清洗效率高、后处理简单这三个方向发展。代表性的新一代含氟清洗气体是CF2O,其它如F2、CIF3等。

为各清洗剂的清洗效率比较。与传统含氟清洗气体相比,CF2O、F2这两种清洗剂的清洗效率非常高,可大于99%。

尽管CF2O属有毒物质,但废气可通过后续水洗涤轻易去除,后处理系统简单,后处理成本低。使用CF2O替代PFCs清洗剂,相当于降低了96%的PFCs排放量。

推荐新闻

RECOMMEND NEWS

2024
07-18
小黑点

探秘汽车安全行驶,氮气为何如此重要?

氮气在汽车行驶中扮演着重要的角色,不仅被广泛应用于汽车安全气囊中,还可以通过轮胎充氮气提升行驶稳定性和降低爆胎几率。了解氮气的奥秘,保障安全行驶!
查看详情
2024
07-18
小黑点

确保氦气使用安全,注意这些关键点

氦气使用时需要谨慎操作,并遵守相关规范与注意事项,以防止潜在的危险。其中,储存与运输、操作规范、个人防护以及应急处理等方面都需要特别重视。只有严格遵守安全规定,才能确保氦气的安全使用,避免事故的发生。
查看详情
2024
07-18
小黑点

氪气在照明和科学研究中的重要作用

氪气是一种无色、无味、无呈的稀有气体,广泛应用于照明、科学研究和医学领域。它的特性使其在照明中发挥重要作用,同时在科学研究和医学中也有诸多应用。通过与国际国内知名气体企业的深入合作,武汉纽瑞德特种气体公司为客户提供高纯度氪气,在质量和服务上都有保障。品质优越,价格优惠,直销模式,成为客户首选的供应商之一。
查看详情
2024
07-17
小黑点

氯化氢的属性揭秘:气态、液态还是固态?

氯化氢是一种由氢原子和氯原子组成的化合物,在常温常压下是气态的,但在特定条件下可以变成液体或固态。本文详细介绍了氯化氢的性质、状态变化以及相关的安全措施。了解氯化氢的物态转变对于实验和工业生产具有重要意义。
查看详情
2024
07-17
小黑点

高纯氦的质量标准及测量技术介绍

了解高纯氦标准和检测方法,购买时注意供应商的信誉以及国内和国外区别,找到可以长期合作的可靠供应商。购买高纯氦需慎重,以确保气体质量和供应稳定性。
查看详情
2024
07-17
小黑点

提升液氮纯度的制冷液化法优势揭秘

氮气液化主要通过压缩和降温来实现,常规液化法和制冷液化法是最常见的方法。常规液化法通过高压压缩氮气,然后通过降温减压使其液化;制冷液化法则利用制冷机将氮气温度逐渐降低,使其变成液体。制冷液化法更快、更有效,但设备和维护成本较高。通过液化,氮气可以方便地运输和储存,有利于提高纯度和降低成本。
查看详情

联系我们

CONTACT US

电话

电话:400-627-7838

电话

地址:湖北省武汉市洪山区松竹路万达环球国际中心3号楼1401室

电话

邮箱:2850590614@QQ.com

纽瑞德