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蚀刻电子特气有哪些

蚀刻电子特气有哪些

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【概要描述】蚀刻电子特气包括氟化物气体,如四氟化碳、全氟丁二烯、三氟化氮等,用于蚀刻的气体称为蚀刻气体。氟化蚀刻气体是一种隐形的“刀具”,广泛应用于半导体、LCD前端工艺和微米厚的薄层切割。蚀刻是对基板上未被光刻胶掩模的加工表面进行蚀刻,以获得所...

蚀刻电子特气有哪些

【概要描述】蚀刻电子特气包括氟化物气体,如四氟化碳、全氟丁二烯、三氟化氮等,用于蚀刻的气体称为蚀刻气体。氟化蚀刻气体是一种隐形的“刀具”,广泛应用于半导体、LCD前端工艺和微米厚的薄层切割。蚀刻是对基板上未被光刻胶掩模的加工表面进行蚀刻,以获得所...

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蚀刻电子特气有哪些

气瓶

用于蚀刻的气体称为蚀刻气体,通常是氟化物气体,如四氟化碳、全氟丁二烯、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。
目前,氟化蚀刻气体是一种隐形的“刀具”,广泛应用于半导体或LCD前端工艺,甚至可以在微米厚的薄层上切割纳米级凹槽。
那么,氟化蚀刻气体是什么呢?它们是如何工作的?
含氟蚀刻气体是电子气体的一个重要分支,是制造超大集成电路、平面显示器、太阳能电池和玻璃纤维等电子工业不可或缺的原材料。它们被广泛用于半导体工艺,如薄膜、蚀刻、掺杂、气相沉积和扩散。国家发展改革委《产业结构调整指导目录(2011年版)(修订版)》将电子气体列入国家重点产品和行业目录。
蚀刻是采用化学和物理方法有选择地从晶圆表面去除不需要的材料的过程。刻蚀在光刻工艺之后,其目的是正确地复制掩膜图形。刻蚀分为湿法蚀刻和干法蚀刻。湿法蚀刻是利用液态溶剂通过化学反应进行蚀刻。干法蚀刻利用低压放电产生的等离子体中的离子或游离基与材料发生化学反应,或通过轰击等物理作用而达到 蚀刻的目的。干法蚀刻的优点是其蚀刻方向性强、工艺控制准确、方便、无解毒、无衬底损伤和杂质,干法蚀刻越来越多地被使用。
蚀刻是对基板上未被光刻胶掩模的加工表面进行蚀刻的过程,如氧化硅膜、金属膜等。以获得被光刻胶掩模的区域,从而在基板表面上获得所需的成像图案。蚀刻的基本要求是图案边缘干净,线条清晰,图案变换差异小,光刻胶膜及其掩模保护表面没有损伤和钻孔侵蚀。

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