纽瑞德

NEWS CENTER

新闻中心

资讯分类
/
/
/
我的中国“芯”——哪些电子特气参与芯片制造

我的中国“芯”——哪些电子特气参与芯片制造

  • 分类:产品知识
  • 作者:
  • 来源:
  • 发布时间:2023-10-19 10:47
  • 访问量:

【概要描述】在芯片制造过程中,电子特气扮演着重要角色。包括光刻、刻蚀、离子注入等步骤,都需要使用各种类型的电子特气。硅片刻蚀气体主要指氟基气体,掺杂工艺所用的气体称为掺杂气体,如砷烷、磷烷等。

我的中国“芯”——哪些电子特气参与芯片制造

【概要描述】在芯片制造过程中,电子特气扮演着重要角色。包括光刻、刻蚀、离子注入等步骤,都需要使用各种类型的电子特气。硅片刻蚀气体主要指氟基气体,掺杂工艺所用的气体称为掺杂气体,如砷烷、磷烷等。

  • 分类:产品知识
  • 作者:
  • 来源:
  • 发布时间:2023-10-19 10:47
  • 访问量:
详情

我的中国“芯”——哪些电子特气参与芯片制造


在芯片的制造过程中,从生产到最终器件的封装,几乎每一个环节都离不开电子特气。例如,光刻、刻蚀、离子注入等步骤都需要使用各种类型和高质量的电子特气,其重要性不言而喻。
在芯片领域,电子特气主要应用于前端晶圆制造中的清洗、外延沉积、氧化成膜、光刻、刻蚀、掺杂等诸多工艺流程,几乎渗透到生产过程中的每一个环节,对产品的性能、成品率、集成度等方面均具有重要影响。硅片刻蚀气体主要是指氟基气体,包括CF4、SF6、C2F6、NF3 ,以及氯基(Cl2)和溴基(Br2、HBr)气体等。掺杂工艺所用的气体称为掺杂气体。主要包括砷烷、磷烷、三氟化磷、五氟化磷、三氟化砷、五氟化砷、三氟化硼、乙硼烷等。通常将掺杂源与运载气体(如氩气和氮气)在源柜中混合,混合后气流连续注入扩散炉内并环绕晶片四周,在晶片表面沉积上掺杂剂,进而与硅反应生成掺杂金属而徙动进入硅。含高纯氖气的混合气被用于光刻工艺。
纽瑞德特种气体公司经营的电子气体,包含六氟化硫、超高纯氨气、一氧化碳、四氟化碳、硅烷、超纯气体(6N以上)、六氟乙烷、三氟甲烷、二氟甲烷、一氟甲烷、八氟环丁烷、三氟化氮、品类齐全,纯度要求高,具有很强的竞争力,与之合作的客户反馈良好。欢迎拨打电话400-6277-838咨询!

推荐新闻

RECOMMEND NEWS

2024
07-18
小黑点

探秘汽车安全行驶,氮气为何如此重要?

氮气在汽车行驶中扮演着重要的角色,不仅被广泛应用于汽车安全气囊中,还可以通过轮胎充氮气提升行驶稳定性和降低爆胎几率。了解氮气的奥秘,保障安全行驶!
查看详情
2024
07-18
小黑点

确保氦气使用安全,注意这些关键点

氦气使用时需要谨慎操作,并遵守相关规范与注意事项,以防止潜在的危险。其中,储存与运输、操作规范、个人防护以及应急处理等方面都需要特别重视。只有严格遵守安全规定,才能确保氦气的安全使用,避免事故的发生。
查看详情
2024
07-18
小黑点

氪气在照明和科学研究中的重要作用

氪气是一种无色、无味、无呈的稀有气体,广泛应用于照明、科学研究和医学领域。它的特性使其在照明中发挥重要作用,同时在科学研究和医学中也有诸多应用。通过与国际国内知名气体企业的深入合作,武汉纽瑞德特种气体公司为客户提供高纯度氪气,在质量和服务上都有保障。品质优越,价格优惠,直销模式,成为客户首选的供应商之一。
查看详情
2024
07-17
小黑点

氯化氢的属性揭秘:气态、液态还是固态?

氯化氢是一种由氢原子和氯原子组成的化合物,在常温常压下是气态的,但在特定条件下可以变成液体或固态。本文详细介绍了氯化氢的性质、状态变化以及相关的安全措施。了解氯化氢的物态转变对于实验和工业生产具有重要意义。
查看详情
2024
07-17
小黑点

高纯氦的质量标准及测量技术介绍

了解高纯氦标准和检测方法,购买时注意供应商的信誉以及国内和国外区别,找到可以长期合作的可靠供应商。购买高纯氦需慎重,以确保气体质量和供应稳定性。
查看详情
2024
07-17
小黑点

提升液氮纯度的制冷液化法优势揭秘

氮气液化主要通过压缩和降温来实现,常规液化法和制冷液化法是最常见的方法。常规液化法通过高压压缩氮气,然后通过降温减压使其液化;制冷液化法则利用制冷机将氮气温度逐渐降低,使其变成液体。制冷液化法更快、更有效,但设备和维护成本较高。通过液化,氮气可以方便地运输和储存,有利于提高纯度和降低成本。
查看详情

联系我们

CONTACT US

电话

电话:400-627-7838

电话

地址:湖北省武汉市洪山区松竹路万达环球国际中心3号楼1401室

电话

邮箱:2850590614@QQ.com

纽瑞德