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【概要描述】氟化氩准分子激光器是一种利用准分子ArF*衰变释放193nm光子的激光装置。通过放电和反应过程放大和释放光子,其工作原理相当微妙。这种激光广泛应用于材料加工、科学研究、医疗和军事领域,具有高精度和高能量特性。
【概要描述】氟化氩准分子激光器是一种利用准分子ArF*衰变释放193nm光子的激光装置。通过放电和反应过程放大和释放光子,其工作原理相当微妙。这种激光广泛应用于材料加工、科学研究、医疗和军事领域,具有高精度和高能量特性。
振荡与释放:氟化氩准分子激光器的微妙之处
氟化氩准分子激光器是一种利用激发状态的准分子ArF*衰变释放193nm光子的激光装置。其工作原理相当微妙,通过放电和反应过程放大和释放光子。
当放电通过Ar/F2混合物时,会产生Ar+离子和电子。这些电子会与氩原子发生碰撞,刺激它们,使它们达到刺激状态。氩原子一旦被刺激,就会与氟分子发生反应,形成刺激状态的准分子ArF*。这种准分子状态会在瞬态下自发衰变回未结合的氩和氟原子,在此过程中会释放出193nm的光子。
为了有效地放大这种刺激状态的准分子,产生激光振荡,激光内部放置了两个镜子,形成一个光学腔。这样,刺激状态的准分子就会引起刺激和激光振荡,进一步形成和衰变,释放出更多的193nm光子。这些光子在激光器中不断反射,与更多刺激状态的准分子相互作用,产生更多的光子。这个过程不断重复,光子的数量逐渐增加。
最后,光束通过部分反射输出镜射出,形成强大的193nm激光束。泵保持所需的电子密度和刺激,以保持持续的激光效果。泵的作用是通过外部能量为放电提供足够的能量,以保持激光器的运行。
一般来说,氟化氩准分子激光器利用放电、反应和刺激的准分子衰变产生193nm激光。其工作原理复杂精致,能产生有效的紫外线,给科研和工业应用带来巨大进展。这种激光广泛应用于材料加工、科研、医疗和军事领域。其高精度和高能量特性使其在各种应用中表现良好。
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