通过Cymer认证的氖气回收系统进入市场，准分子激光气体游戏规则可能会发生变化！

EFC气体和先进材料公司（以下简称EFC）是特种气体和先进材料领域的领先企业。12月4日，公司宣布推出氖气回收系统。该系统已获得Cymer的正式认证，可用于其准分子激光。氖气是深紫外线（DUV）光刻技术的必需品在激光光源的生产中起着至关重要的作用。这个开创性的系统可能会为终端用户提供长期稳定的氖气价格。

EFC执行副总裁Mattadams强调了氖气回收系统在促进创新和可持续发展方面的作用。“该系统已获得OEM认证，这是准分子激光技术的一次重大飞跃，不仅提高了运行效率，而且带来了环境效益。

氖气回收系统的主要功能：

OEM认证优秀产品：通过OEM认证，回收系统可与行业标准分子激光无缝集成，保证可靠性和高性能；

稳定的氖气价格：该系统是该行业的一项创造性措施。通过捕获和回收通常需要排放的激光气体，确保氖气价格的长期稳定和供应链的连续性，为企业带来更好的财务规划和运营效率；

减少碳足迹：回收可以抵消氖气生产的需要。未来20年，每个半导体工厂的二氧化碳排放量将减少100多万吨。这符合半导体行业对可持续制造的承诺；

EFC总裁兼首席执行官PavelPerlov表示，我们新推出的氖气回收系统是稳定氖气回收价格和确保其稳定性的重要里程碑。无论全球供应波动如何，该系统都可以提供解决方案，引领半导体行业走向负责任的未来。