中钢砸6亿元生产氖气，打进半导体供应链

中钢董事会审议通过了6亿余元《氧气工场增设生产氖气设备计划》的投资议案，正式宣告将透过生产氖气加入半导体供应链，预计将于2025年开始生产半导体等级的精氖产品。

氖气本就是高炉炼钢制程的副产品，且中钢原就设有全台最大型空气分离装置，此次与工业气体业者联华林德合作增设氖气分馏设备后，将使得中钢具备生产粗氖的能力。粗估以中钢所投资的设备产能计算，此案未来每年将可产出5.2万立方米的粗氖。中钢表示，不排除拥有2座高炉的子公司中龙，日后也投资加入氖气生产的行列。

联华林德为全球最大工业气体业者德国林德集团在台子公司，中钢所生产的粗氖将再交由中钢、联华林德及德国林德合资的子公司进行后段制程，生产出半导体级的精氖。据透露，由于后段精氖制程仍在三家公司商业谈判阶段，投资金额、持股比例皆因保密协定无法揭露，但预计将于2024年底完成生产线建置，2025年起试产精氖产品，2026年达到设备全能生产，实现半导体关键材料在地化的目标。

中钢表示，为降低地缘政治风险、确保半导体战略物资供应、提升半导体产业供应链韧性及推动中钢多元化经营转型，《氧气工场增设生产氖气设备计划》一案顺利完成后，除可增加公司获利及长期业外稳定营收及收益外，并可成为半导体产业关键原料供应链的一环。

数据显示，2022年俄乌战争之后，中国市场氖气价格于2022年5月最高涨至2万元左右。为保障供应链稳定，全球多个国家大力支持本国国内投建稀有气体项目（氖气、氪气、氙气），稀有气体产能规划总量惊人，价格随即迅速下跌，2023年11月，中国市场价格已经下跌至220元左右，较去年5月的最高价格跌幅达99%。半导体厂氖气消耗量占全球氖气总量超过75%，受半导体需求的持续疲软和宏观经济状况影响，今年半导体制程所需的激光气体量价双降。

不怕用量减少，只怕工艺革新。近期，日企巨头佳能宣布推出纳米压印半导体设备。与传统的光刻技术相比，首先，纳米压印技术不再需要昂贵的光源，可以大幅降低制造成本。另外，纳米压印的模板比光刻机用的掩膜版图案设计更简单，压印出来的图案尺寸完全由模板上的图案决定，所以不会受到传统光刻胶技术中光源波长、光学衍射的限制和影响。有消息披露，SK海力士已经从佳能引进了纳米压印设备，目前正在进行测试，计划在2025年左右使用该设备开始量产3D NAND闪存，到目前为止的测试结果良好。