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硅烷在半导体工艺中的重要性

硅烷在半导体工艺中的重要性

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  • 发布时间:2023-12-16 10:00
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【概要描述】硅烷作为半导体新材料和微电子工艺中的关键气体,不仅在制备微电子薄膜领域发挥着重要作用,还能提高材料性能和延长零件寿命。此外,硅烷还在陶瓷制造中引领革命性应用,为创新材料的发展做出了重要贡献。

硅烷在半导体工艺中的重要性

【概要描述】硅烷作为半导体新材料和微电子工艺中的关键气体,不仅在制备微电子薄膜领域发挥着重要作用,还能提高材料性能和延长零件寿命。此外,硅烷还在陶瓷制造中引领革命性应用,为创新材料的发展做出了重要贡献。

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硅烷在半导体工艺中的重要性

硅烷的另一个应用是非晶半导体非晶硅。与单晶半导体材料相比,非晶硅容易形成非常薄(厚度约10nm)的大型设备,底座可以是玻璃、不锈钢甚至塑料,表面可以是平面或曲面,因此可以制成各种性能优异的设备。

硅烷已经成为半导体微电子工艺中使用的主要特殊气体,用于制备各种微电子薄膜,包括单晶薄膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金属硅化物等。硅烷的微电子应用仍在深入发展:低温延伸、选择延伸和异质延伸。它不仅用于硅器件和硅集成电路,还用于化合物半导体器件(砷、碳化硅等)。).它还用于制备超晶格量子陷阱材料。可以说,硅烷几乎是现代所有先进集成电路的生产线。硅烷的纯度与设备的性能和成品率密切相关,更先进的设备需要更高纯度的硅烷

硅烷作为硅胶膜和涂层的应用已经从传统的微电子产业扩展到钢铁、机械、化工和光学领域。硅胶涂层可以将普通钢材的高温抗氧化能力提高到10万倍以上,也可以大大提高其他金属的高温化学稳定性,显著提高内燃机叶片的耐腐蚀性,大大提高各种材料和零件之间的粘结强度,延长汽车发动机零件的使用寿命,改变玻璃的反射和透射性,从而获得显著的节能装饰效果。在浮法玻璃的生产过程中,玻璃表面只涂有硅烷,附着力强,在长期阳光下褪色。;氮化硅涂层用于大面积多晶硅电池。(BSNSC)已经达到15.7%的高效率。各种含硅膜在高科技中的应用仍在增加,采用硅烷气相沉积技术。

硅烷的另一个潜在应用是制造高性能陶瓷发动机部件,尤其是硅烷制造硅化物(Si3N44、SiC等。微粉技术越来越受到重视。美国、日本和其他国家正在花费数亿美元开发耐高温、高强度、高化学稳定性的硅、氮化硅和碳化硅微粉制成陶瓷。硅烷气相反应制备的微粉纯度最高,粒度细腻均匀,可大大提高陶瓷零件的性能。它广泛应用于汽车发动机阀门和透平增压器转子的实用性、高速轴承和高性能工具的商业化等领域。内燃机可使工作温度达到1400℃,大大提高了热机的效率,适用于各种燃料,延长了使用寿命。隐形保护层瓦也可用作为火箭。

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