江西九江永修县 华特电子特气项目 年产1936.2吨  

近日，永修县人民政府宣布，江西华特电子化工有限公司计划在江西省九江市永修县经济开发区星火工业园区投资17400万元，建设年产1936.2吨电子特种气体项目。根据《环境影响评价公众参与办法》（生态环境部令第4号）的规定，向公众公布相关环境评价信息。


项目介绍
项目名称

江西华特永修年产电子特气项目1936.2吨。

建设地点

现有工厂位于江西省九江市永修县经济开发区星火工业园区，中心地理坐标为北纬N29°8′16.331″，东经115°46′8.336″。

建设性质

改扩建。

建设规模

15t/a乙烷、1t/a丙硅烷、0.2t20t/a硫烷、300t/aC4F6新扩建生产装置、600t/a环氧乙烷分装置、1000t/a三氟化氮分装置、20t/a硫烷分装置。

关于三氟化氮

三氟化氮作为集成电路、显示面板等制造过程中使用的优良等离子蚀刻气体，具有优异的蚀刻速度和选择性。与其他含氟电子气体四氟化碳和六氟化硫相比，碳和硫不会沉积在硅表面，使用后表面污染较小。因此，三氟化氮是目前市场上最大的电子特种气体产品之一。

三氟化氮是国产化比较成功的一种含氟特气，国外生产企业主要包括SK Materials、国内生产企业主要有南大光电、浩华气体、中船特种气体等，韩国晓星、日本关东电化、德国默克等。

关于六氟丁二烯

六氟丁二烯（C4F6），又称全氟丁二烯，被认为是下一代蚀刻气体的竞争优势。它可以取代CF4，用于干燥KRF激光锐利蚀刻半导体电容器图形。C4F6在先进技术方面具有许多蚀刻优势：选择性高、精度高、各向异性好，适用于100 NM以下电子线路的蚀刻性能优于全氟碳气体和NF3；与C4F8相比，C4F6具有两个非常重要的优点：高光阻和氮化硅选择率；此外，环境也是C4F6全球变暖潜力值的一个非常重要的因素(GWP)几乎为零。据专家介绍，到目前为止，C4F6可能是唯一能够提供蚀刻条件和减少排放的替代品。

六氟丁二烯（C4F6）是一种附加值高、市场前景广阔的电子气体。目前，国内子公司主要由海外制造商和海外制造商经营。韩国厚城、梅塞尔、关东电化和大阳日酸在中国都有生产布局。许多国内企业，如绿菱气体、玉极科技、浙江化工学院和派瑞特气体，也开始研究。