为什么电子特气生产技术门槛极高？

电子特殊气体的“特殊性”对纯度要求很高，纯度是指主要成分含量越高越好，洁净度是指杂质残留量越低越好。90纳米工艺的纯度要求在5到6N之间，这里的N指的是纯度百分比中9的数量。与此同时，杂质要求低于10的负9次方，即10亿分之一。电子特殊气体的纯度要求在28纳米甚至7纳米和5纳米工艺中更高，金属元素要净化到万亿分之一，相当于20个标准游泳池的水中杂质不能超过1滴。为何这种极其严格的纯度？

如此严格的要求使得电子特气生产技术的门槛非常高，需要长期的积累和研发投入。同时，生产过程中使用了大量的精密仪器设备，这是第一个难点。二是资质壁垒，电子特气质量对电气产品性能影响较大，一旦出现质量问题，下游客户将遭受巨大损失。在与气体供应商建立合作关系后，客户不会轻易更换气体供应商，以保持气体供应的稳定性。要想进入，必须经过严格的审查和认证。这一周期通常持续2-3年。由于电子信息产业在发达国家起步较早，在技术、资金、人才等方面具有先发优势，中国不得不长期依赖进口，超过85%的市场份额被美国、法国、德国、日本等国家的企业垄断，尤其是超高纯度，几乎完全依赖进口。卖不卖要看他们自己的决定。所以，我国必须尽快开发出国产化的关键电子特气技术，化解“卡脖子”的危险，牢牢把握国民经济的安全命脉。从技术角度来看，中国电子气体行业需要在以下几个方面取得突破:一是催化剂、吸附剂、膜材料等净化材料和气体终端净化器的核心材料。；第二，新产品、新技术、电子特气更新迅速，新产品的研发与混合技术跟不上国外的研发速度。目前，我国三氟化氮、六氟化硫等电子特种气体产品已逐步淘汰；第三，在设备方面，与高纯气体接触的设备必须符合清洁标准，否则释放的微量杂质会污染电子气体，生产所需的容器、管道阀门等。近几年来，经过多年的自主研发，中国一些企业已经批量生产了一些电子特种气体产品，并通过了国际领先企业的认证。未来，全球半导体供应链系统将陆续进入更多产品。