电子特气的关键性和需求预测

什么是电子特气？

特殊电子气体是电子气体的重要分支，是集成电路、显示面板等电子工业生产中不可缺少的原材料。特殊电子气体种类繁多，广泛应用于离子注射、腐蚀、气相沉积、混合等环节。它被称为“食品”和“来源”，用于集成电路、液晶面板、LED和光伏材料，决定了设备的最终产量和可靠性。特殊电子气体广泛应用于半导体、微电子和相关太阳能电池等高科技行业，或用于薄膜沉积、腐蚀、混合、钝化和清洁，或用于载气和保护气氛。由于特殊的半导体和微电气

上游电子特气多为III(硼、铝、钒)、IV(碳、硅、邈)、V（氮、磷、砷）和卤素（氟、氯）的基础化学工业在集成电路、面板、LED等领域的各个过程中都有多种用途。电子特种气体是集成电路、显示面板等电子工业生产中不可缺少的原材料。到2021年，43%的电子特种气体将用于集成电路，其次是显示面板，21%、13%和6%的LED和光伏。主要应用包括离子注射、腐蚀、气相沉积、混合等。

常见的电子特气是什么？

纯度高C4F6， SiHCl3、HF、HCl、HBr、F2、SiH4、PH3、AsH3、B2H6、C4F8、N2O、NH3、SF6、NF3、COS、CF4、BCl3、BF3、Cl2、Si2H6等。

为了保证半导体设备的质量和成品率，特种气体产品应满足“超纯”和“超净”的要求，“超纯”要求气体纯度达到。 4.5N、5N 甚至 6N、作为特殊气体的核心参数，每次纯度增加一个N，颗粒和金属杂质浓度降低一个数量级，工艺复杂性和难度显著增加。（N 是 Nine 简介，几个N 有几个代表 9，例如3N 纯度为99.9%），“超净”要求严格控制颗粒和金属杂质的含量。目前，国内企业普遍实现5-6n，而林德、法国液体空气等海外龙头企业的技术可达6-9n。

市场如何？

2016年中国的特种气体市场规模为156亿元，至2020年达到282亿元，2016-2020年期间中国特种气体市场平均增速达15%以上，增速明显。有机构预测2020年之后仍将保持以15%以上高速增长趋势，2025年中国特气市场有望达到691亿元的规模。同时，国内电子特气行业技术研发稳步推进，有望实现进口替代。2020年全球电子气体市场规模58.5亿美元，预计在2025年将超过80亿美元，年复合增速达到6.5%。国产电子特气市场未来将有较大增长空间。