特种气体在显示屏制造中的不可或缺性

有源矩阵薄膜晶体管显示屏（TFT），自20世纪90年代以来，它一直是我们生活中不可或缺的一部分。它在我们的生活中随处可见。没有手机和电视，我们每天都离不开路上的广告和标志。
显示器的制造与半导体设备的制造有许多相似之处。不仅生产过程的步骤非常相似，而且生产过程中需要大量的气体，所使用的气体类型大多相同。
显示屏生产中使用的气体主要分为两类：电子特种气体和电子特种气体。电子特种气体主要是指硅烷、六氟化硫、三氟化氮、氨和磷化氢的混合物，占制造气体的52%；电气是指氦气、氮气、氧气、氢气、二氧化碳和氩气，占生产使用气体的48%。
硅烷：SiH4是显示器制造中最重要的气体之一。它与氨（NH3）相结合，形成与氮（N2）相结合的A-Si晶体管氮化硅层，形成LTPS晶体管预分子激光退火a-Si，或氧化亚氮(N2)O）结合形成MO晶体管的氧化硅层。
三氟化氮：NF3是A-Si和LTPS显示屏生产中使用最多的单一电子材料，而NF3是A-Si和LTPS显示屏生产中使用最多的单一电子材料，而N2O在MO生产中并不像N2O那么多。NF3用于清洁PECVD腔室。这种气体需要可扩展性，以便在竞争激烈的市场中建立成本优势。
氧化亚氮：LTPS和MO显示屏用于生产。N2O在MO生产中的消耗和使用已经超过NF3，成为MO生产中最常用的电子材料。N2O是一种区域性和本地化的产品。由于成本低，物流成本高的长供应链无法使用。平均每5.5平方米的普通玻璃重约2公斤，通常每月需要240吨N2O才能生产120K的8.5。 MO显示屏。最大的N2O压缩气拖车一次只能提供6吨N2O，对于MO生产来说，这种方法成本高，风险大。
氮气：一般大型显示厂氮气需求可达5万元 Nm3/小时，因此现场发生器是一种具有成本效益的解决方案。与传统氮气工厂相比，显示屏制造中的二氧化碳排放量减少了8%％。
氦气：氦气用于过程和过程后的冷却玻璃。由于氦气是一种不可再生气体，由于其成本和可用性，制造商正在研究减少氦气的使用。

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