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半导体制造必备的电子特气种类及其作用

半导体制造必备的电子特气种类及其作用

  • 分类:产品知识
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  • 来源:
  • 发布时间:2024-04-17 10:50
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【概要描述】电子特气种类繁多,主要包括高纯度气体、稀释气体、化学气相沉积气体、蚀刻气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体等。武汉纽瑞德是一家专业生产销售特种气体的气体公司,拥有丰富的种类和纯度要求高的产品。

半导体制造必备的电子特气种类及其作用

【概要描述】电子特气种类繁多,主要包括高纯度气体、稀释气体、化学气相沉积气体、蚀刻气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体等。武汉纽瑞德是一家专业生产销售特种气体的气体公司,拥有丰富的种类和纯度要求高的产品。

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半导体制造必备的电子特气种类及其作用

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电子特气(Specialty Gases)它是电子工业中使用的一种特殊气体,在半导体、集成电路、显示面板、光伏等领域的生产中发挥着关键作用。电子特殊气体的分类方法有很多,主要包括以下几种:
根据纯度和应用领域进行分类。电子特性可分为高纯度气体和超大型集成电路。(ULSI)这些气体用于半导体制造过程中的掺杂、蚀刻、气相沉积等工艺。
按功能分类。电子气体可分为稀释气体和化学气相沉积。(CVD)气体、蚀刻气体、混合气体、外延气体、离子注入气体等。
根据应用程序进行分类。电子气体可分为平板显示气体、半导体气体、光伏气体和发光二极管(LED)在半导体制造过程中,这些气体用于环境气体、保护气体、载气等。
按组分分类。电子气体可分为氮氧化物、氢化物、氟碳、碳氧化物、氨化物、混合物等。
在实际应用中,电子特气有很多种,包括氨、氦、氧化亚氮、TEOS(硅酸乙酯)、TEB(硼酸三乙酯)、TEPO(磷酸三乙酯)、磷化氢、三氟化氯、二氯硅烷、氟化氮、硅烷、六氟化钨、六氟乙烷、四氯化钛、甲烷等。这种气体在半导体制造中起着重要作用,影响产品的性能和质量。
武汉纽瑞德是一家专业生产和销售特种天然气的天然气公司。产品齐全,纯度要求高。公司拥有专业的技术团队和工程安装团队,为客户提供天然气咨询、天然气供应设计方案、各种天然气容器、阀门仪表和充电装置的选择和安装服务。该公司成立于2007年。经过多年的市场经验,综合实力雄厚,经得起市场审查。如果您想购买特殊的电子气体,请致电400-6277-838。

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