超纯气体：高纯度气体在各领域的广泛应用

超纯气体，又称高纯气体，是指纯度高于99.999％气体是一种高纯度化学试剂。制备是为了满足一些科学研究和尖端技术的特殊需要。一些对气体特别纯净的部门需要99.9999％的超纯气体纯度。每升气体粒度大于0.5μM的尘粒数量应小于3个。

品种和用途
超纯气体品种发展迅速。1981年，单一超纯气体120多种，混合超纯气体约300种。中国可生产10多种单一超纯气体和数十种混合超纯气体。除了表中列出的主要品种外，单一超纯气体还包括二氧化硫、一氧化碳、二氧化碳、乙烯、正丁烷、砷、丙二烯、顺丁烯、丁二烯等。超纯气体混合物是上述单一超纯气体的混合物，用于电光源还原钨丝、纯氩霓虹混合物、氩氦混合物等。许多超纯混合物被用作色谱、质谱和光谱分析中的标准气体。

制备方法
超纯气体的制备主要从工业气体中纯化，包括吸附、吸收、膜扩散、电解、生化、辐射、光解、低温蒸馏、催化等。例如，超纯氢、氮、氦和氩首先通过空气分离提取纯气体，然后通过低温吸附获得超纯气体；粗氩也可以从合成氨放气中提取；从核裂变气体中提取粗氪和氙气，然后纯化以获得超纯气体。

贮运
对于超纯气体来说，任何微小的污染都会严重影响气体的质量，因此气体储存和运输过程中的清洁度和高密封性尤为重要。超纯气体主要储存和运输在高压瓶或低温液化气体容器中。高压瓶坚固耐用，运输灵活，气体无损失，但气体纯度稳定性差；低温液化气体容器容量大，但气体排放损失大。