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蚀刻气体：高GWP与低GWP的对比
- 分类：产品知识
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- 发布时间：2025-01-03 09:59
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【概要描述】本文介绍了几种高GWP气体，如四氟化碳、八氟环丁烷等在蚀刻过程中对环境的负面影响，并探讨了低GWP替代气体六氟丁二烯的优势，呼吁采用更环保的蚀刻材料以减少温室效应。
蚀刻气体：高GWP与低GWP的对比
【概要描述】本文介绍了几种高GWP气体，如四氟化碳、八氟环丁烷等在蚀刻过程中对环境的负面影响，并探讨了低GWP替代气体六氟丁二烯的优势，呼吁采用更环保的蚀刻材料以减少温室效应。
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蚀刻气体：高GWP与低GWP的对比
四氟化碳(CF4)是高GWP值的蚀刻气体，八氟环丁烷(C8F18)、C2F6(C2F6)、三氟甲烷(CHF3)等。这种气体在蚀刻过程中表现出较高的温室效应潜值(GWP值)，对环境影响较大。
GWP值及特定蚀刻气体的应用
四氟化碳(CF4)：主要用于蚀刻二氧化硅、氮化硅等介质材料，GWP值较高。
八氟环丁烷(C8F18)：同样用于蚀刻工艺的GWP值较高。
C2F6(C2F6)：蚀刻过程中GWP值较高。
三氟甲烷(CHF3)：在蚀刻过程中，GWP值较高。
选择替代低GWP蚀刻气体
为了减少对环境的影响，可以考虑使用低GWP值的蚀刻气体，如六氟丁二烯（C4F6）。六氟丁二烯具有选择性高、蚀刻进度高、蚀刻效率高、环境友好等特点。温室效应的潜在值（GWP值）仅为290，大气寿命为1.9天。它是唯一具有优异蚀刻性能和环保性能的含氟电子蚀刻气体。
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